前田龍?zhí)山淌谧隹臀倚！扒把乜茖W(xué)報(bào)告”

11月15日，應(yīng)科技處、機(jī)電工程學(xué)院邀請，日本國立產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所前田龍?zhí)山淌谧隹臀倚！扒把乜茖W(xué)報(bào)告”，作了題為“Piezoelectric MEMS”的英文學(xué)術(shù)報(bào)告。此次報(bào)告會采用線上與線下相結(jié)合方式，由機(jī)電學(xué)院常博教授主持，副院長楊立軍教授、李晨副教授和微納機(jī)電研究所全體教師及部分研究生聆聽了此次精彩報(bào)告。

前田龍?zhí)山淌谑紫纫曰趬弘姴牧系奈C(jī)電系統(tǒng)（MEMS）為出發(fā)點(diǎn)，從壓電材料原理、日本壓電微器件發(fā)展現(xiàn)狀、微機(jī)電系統(tǒng)市場發(fā)展與需求探討MEMS的發(fā)展趨勢。報(bào)告詳細(xì)介紹了壓電材料薄膜制備方法與工藝，壓電MEMS微加工流程與工藝，以及封裝關(guān)鍵工藝參數(shù)。報(bào)告最后分享了日本國立產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所（AIST）開發(fā)的基于壓電MEMS技術(shù)的掃描微振鏡器件、禽流感傳感器、原子力顯微鏡探針、靜電力傳感器與振動傳感器等微器件。報(bào)告結(jié)束后，學(xué)院師生積極向前田龍?zhí)山淌谡埥剃P(guān)于壓電MEMS制作工藝、器件設(shè)計(jì)、發(fā)展趨勢等問題，前田龍?zhí)山淌谂c師生熱情交流。

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技機(jī)械電子器件，是一項(xiàng)關(guān)系到國家科技發(fā)展和國防安全的關(guān)鍵技術(shù)?；贛EMS技術(shù)的傳感器、致動器與微系統(tǒng)是推動智能制造、物聯(lián)網(wǎng)、數(shù)字孿生以及元宇宙發(fā)展的重要技術(shù)基礎(chǔ)。此次報(bào)告通過師生與國際上知名學(xué)者的學(xué)術(shù)交流活動，進(jìn)一步促進(jìn)我校國際科技交流與合作，推動我校微機(jī)電系統(tǒng)方向的發(fā)展。

新聞小貼士：

前田龍?zhí)?，西安交通大學(xué)教授、博士生導(dǎo)師，日本國立產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所（AIST）名譽(yù)研究員、東京大學(xué)客座研究員。世界知名、日本著名的微納加工制造領(lǐng)域、先進(jìn)MEMS領(lǐng)域以及智能物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域?qū)＜?。主要研究方向?yàn)椋S納加工工藝，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS），基于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）的低能耗傳感器，基于以上開發(fā)的先進(jìn)傳感器及其集成技術(shù)，無線傳感器的植入技術(shù)，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)動物和畜產(chǎn)動物的長期健康監(jiān)測，以及醫(yī)學(xué)手術(shù)輔助系統(tǒng)的研究和開發(fā)。

（核稿：夏祥林 編輯：郭姍姍）